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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
3.
现任德州仪器(TI)DSP业务发展经理、负责利用DSP技术在TI内部开创新的业务的Gene Frantz(中文名:方进),除了上述寻常的职称,他还拥有一个很特别的头衔--首席战略科学家.这可是不容小觑的身份,在TI为数众多的技术人员中,仅有不到千分之一的人有幸获此殊荣.方进由于对奠定TI在全球DSP领先基础上贡献卓越,于1997年被授予此称号. 相似文献
4.
早前有所谓“Five Flowers”的说法,意谓着中国有望如旭日东升的五大自有标准:TD-SCDMA、WAPI、EVD、AVS,以及中国数字电视的DMB-TH。究竟,中国的DMB-TH能否率先绽放? 相似文献
5.
他们,就是这么壮大起来的!从格林柯尔到德隆,从巨人集团到迪比特手机,一系列看上去家大业大的明星企业,一夜之间轰然倒塌,引起业界一片哗然!在新兴市场经济环境中,在金融生态环境以及法律环境仍需进一步改革的前提下,中小企业应如何通过获得投资、资本负债、上市融资等方式实现 相似文献
6.
随着制造工艺的微缩,时序优化和成品率等技术议题,早已人所共识尤其是如何降低功耗?更深深困扰着整个电子业.这样的呼声,EDA业界也听到了. 相似文献
7.
如果问什么是这几年最令人惊艳的前沿技术,无线技术肯定是当仁不让的选项之一;放眼环视生活周遭,手机、笔记本电脑、微波炉等遍地可见Wireless的踪迹;因为贪恋数据传输及处理的便利性和实时性,许多无线应用正加速转向数字RF发展,以彻头彻尾地全面利用计算机技术;这样的趋势虽然对科技进化贡献良多,却也造成RF频谱格外拥挤。加上高速嵌入式数字信号运行微波频率,都使得监控和智能采集技术的使用量大幅提高。 相似文献
8.
采用伪距和伪距率的GPS/INS组合,由于卫星历误差,传播误差,仪器误差及人为干扰(SA)等因素的存在,使组合系统精度不可避免地受到严重影响,本文提出采用距率双差和伪距双差为观测向量的组合方法,并推导了系统的观测方程,采用低成本IMU和GPS组合的实验结果表明,这种方法可有效地消除上述主要误差的影响,组合系统的姿态速度位置精度分别小于0.11°,0.1m/s,0.3m(RMS)。 相似文献
9.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
10.