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本文扼要介绍非晶态半导体超晶格研究中的几个有代表性的问题.着重讨论了超晶格结构的界面,持续光电导,光诱增电导(PIEC)现象,由于带隙兰移和电荷转移掺杂引起的电导率的异常现象,质量调制超晶格的负阻效应. 相似文献
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采用无水化学沉积(NCBD)法在玻璃基片上制备了Sb2S3薄膜。先用无水乙醇将4.0mL浓度为0.1mol/L的SbCl3乙醇溶液稀释至39.6mL,再加入0.4mL浓度为0.5mol/L的CH3CSNH2乙醇溶液,搅拌均匀后垂直放入玻璃基片,在15~18℃温度下沉积72h后,进行退火处理。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜在退火前后的结构特性进行了研究,利用光学测试计算了薄膜的光学带隙。结果表明,高温退火使薄膜由退火前的非晶态转变为多晶的Sb2S3结构(正交晶系),薄膜的直接光学带隙从1.86eV降低为1.75eV。 相似文献
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总结了几种能大幅度提高沉积速率的方法。分别给出了这几种方法的沉积速率,分析了它们能提高沉积速率的原因,以及所制备的a-Si:H膜的光电性质。 相似文献
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