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对静电驱动一维MEMS微镜中的静电弹性耦合问题进行了研究,分析了电极板的偏转变形与静电力的相互影响。为低品质因数的一维微镜系统建立了动态和静态模型,动态模型为一维扩散方程,静态模型由二阶微分方程表示。利用建立的模型对静电弹性耦合一维微镜系统的稳态特性进行分析,得出结论:静电力与弹性力的相对强度λ有一个临界值,当λ处于临界值以上时,系统将没有稳态解,设计的微镜结构应当保证λ处于临界值以下。 相似文献
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MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析 总被引:6,自引:0,他引:6
对MOEMS静电旋转结构的Pull鄄in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull鄄in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull鄄in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率。 相似文献
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基于Web的中央空调远程实时监控系统 总被引:4,自引:0,他引:4
提出了一种基于Web技术的实时网络监控系统设计方法,把基于B/S模式的3层体系结构运用于监控系统中。以中央空调远程实时监控系统为例说明了这种设计方案的具体应用。 相似文献
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全光网络中的MEMS光开关研究新进展 总被引:3,自引:0,他引:3
光开关是未来全光网络中关键的光交换器件。MEMS技术由于其自身的诸多优点而被认为是目前最有前景的光器件制作技术之一。本文简要论述了MEMS光开关与其他类型光开关的区别,介绍了MEMS光开关的特性,并分别就二维、三维及最近提出的一维MEMS光开关进行了介绍和比较。最后,综合探讨了MEMS光开关目前所面临的各种挑战。 相似文献
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