半导体表面气体分子吸附机理的光伏研究

通过对p型和n型的同一硅单晶样品分别置于大气、氧气、氮气的不同氛围中所进行的各有关表面参量的光伏测算，分析了同一样品处于不同氛围中，以及不同导电类型的样品处于同一氛围中的测算结果的变化规律，探讨了出现这一规律的内在机理，解释了各有关的物理现象. 关键词： 半导体表面 气体分子 吸附机理 光伏方法