光学针描法的理论与实验研究

在光纤探针描描使表面轮廓对光产生调的基础上提出了光学针找法的粗糙度测量技术。对光学针描法的理论基础，如表面轮廓原理和光耦合区理论进行限较为深入的分析。对单模光纤探针式轮廓仪的实验系统进行了介绍，最后给出了实验结果和误差分析。