一种新的光栅仪器误差修正方法

<正> 一般来说,使用光栅尺为基准的高精度仪器,由于光栅尺制造精度不能满足仪器总精度要求,就要考虑对光栅仪器或光栅尺制造偏差进行修正。常见的光栅仪器误差修正方法是按要求给副光栅一个附加位移,或者是用光学扫描方法,使副光栅的象在光栅尺上有一个微小位移。这里介绍一种新的方法。这种方法与前两种方法相比,能收到修正机构制造精度低和仪器结构简单而获得修正后残差小的效果。根据光栅幅工作原理,当光栅幅的主副光栅相对位移一个栅节距时,光栅幅形成的莫尔条纹也相应位移一个条纹宽度。如果给接收莫     

高精度光栅头的一种精度分析方法

本文以一种光栅条纹信号发生器为实例,介绍了光栅副参数的确定、精度分配及质量评价方法的实际经验。