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微透镜阵列的铸塑复制技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
陈祥献 《光子学报》1998,27(3):266-269
在光刻热熔成型以及电铸复制得到的微透镜阵列镍板基础上,采用静态铸塑技术,得到了高质量的PMMA微透镜阵列。本文介绍了静态铸塑的聚合反应理论基础、模具设计以及工艺过程。最后对微透镜阵列的复制精度进行分析,结果表明复制精度优于0.5μm.  相似文献   
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