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1
1.
波长渐变滤光片的镀制
总被引:1,自引:0,他引:1
秦洁玉
罗崇泰
马勉军
王多书
金扬利
《光学技术》
2006,32(Z1)
采用常规的真空蒸发镀膜技术,利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构,分别在1cm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片。滤光片的波段范围从可见光区直至中红外区。阐述了波长渐变滤光片的镀制工艺及其结果,分析了在实际镀制中膜厚偏差产生的原因,提出了修正系统偏差的可行性方法。
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