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本文讨论在计算机数控机床上用硬质材料研磨非球面模具,以及用触针技术测量模具的形状。对用这些模具复制的NA=0.45透镜进行了测量,在波长为780nm时,得到小于0.030波长的光程差均方根值。 相似文献
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