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平板玻璃生产中需要对玻璃厚度进行精确地测量。本文通过理论模拟和实验研究了应用白光干涉测量技术,来测量玻璃平板厚度的方法。系统通过步进电机控制精密平移台的移动,实测了一个标称厚度为5mm的玻璃平板,通过多次采样取平均的方法,结果误差为0.34%。  相似文献   
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