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非晶硅薄膜太阳能电池制备过程中的激光刻线工艺要求刻线宽度在30 μm~50 μm之间,死区范围小于300 μm,刻线深度符合工艺要求。这不仅要求激光器具有较高的光束质量,而且要求光学系统具有较高的成像质量和较宽的焦深。设计了单激光器四分光路的激光刻线系统。采用设计的激光刻线装置,在1 400 mm×1 100 mm×3.2 mm玻璃基板上进行刻线试验,分别得到刻线P1,P2,P3的线宽为35 μm,50 μm和45 μm,死区范围(P1至P3的距离)为287 μm,最终深度分别为0.98 μm,0.24 μm和0.58 μm,刻线宽度和深度均符合薄膜太阳能电池制备工艺要求。 相似文献
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亚胺的对映选择性催化还原研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
亚胺的对映选择性催化氢化是近年来不对称催化反应中的一个新热点, 本文综述了自1973 年Kagan 等人首次报道亚胺对映选择性催化还原以来本领域的研究进展。 相似文献
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