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1.
光学薄膜的小光斑扫描激光预处理研究
赵强
裘弘
刘晔
范正修
王之江
《光学学报》
1999,19(8):105-1109
激光预处理是一种提高光学薄膜破坏阈值的新技术。采用小光斑扫描并逐步提高预处理能量的方法,对不同类型的薄膜进行了激光预处理。实验结果发现,除了HfO2/MgF2多导反射膜外,其它样品的0几率破坏阈值F0%、发生破坏的最低能量密度值FDmin1、不发生破坏的最高能量密度值FNDmax以及50%几率损伤阈值F50%都有不同程度的提高。这说明,激光预不仅可以清除薄膜听杂质和缺陷,而且可以改进薄膜的整体性能
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