一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源

介绍微空阴极的结构和物理机理，着重介绍一种新型大气压下射频激励的大面积冷等离子体源——融合空心阴极(fused hollow cathodes，FHC).结合应用和与之有关的研究，简单介绍空心阴极的放电特性，以及影响其放电特性的因素，如阴极材料、气体种类、频率、气体流速、气压、阴极内径等.另外提到了其他两种相关的微空阴极系统. 关键词： 微空阴极 大气压 冷等离子体 射频