VLSI中高温超导耦合互连线的电特性研究

本文采用二维时域有限差分（ＦＤＴＤ）法分析ＶＬＳＩ中的高温超导（ＨＴＳ）耦合互连线的传输特性。对耦合互连线奇偶模分别给定一系列的实传输常数β后,求出盯应场值并有杉时间序列预测模型及参数优化方法得到其对应的频率和实际的复传输常数γ,在此基础上提取出频变等效电路ＲＬＧＣ参数。通过与常规导体铝互连线的ＲＬＧＣ参数进行比较,可以看出超导出连线具有相当低的色数。通过与常规导体铝互连线的ＲＬＧＣ以数进行比较。