Si_3N_4波导上的费涅尔透镜

本文提出一种新型的费涅尔波导透镜.它不仅具有衍射受限的聚焦特性,而且有与理想费涅尔波导透镜几乎一样的效率,并使工艺简化.在氮化硅波导上进行的工艺实验表明,实验结果与理论分析具有较好的一致性.     

线性边带的费涅尔波导透镜

本文提出一种线性边带的费涅尔透镜。它不但具有衍射受限的聚焦特性和极高的衍射效率,而且工艺得到显著简化。在氮化硅波导上进行的工艺实验表明,实验结果与理论分析有很好的一致性。