面向自动测试的集成电路制造装备测试模型

对于典型的集成电路制造装备,提出了一种面向自动测试系统的多层次测试模型;使用层次化建模方法进行建模,将典型集成电路制造装备的测试模型按层次划分为装备级、子系统级和仪器级;利用XML建立了模块化的测试模型的描述,并使用引用的方式实现测试模型的重用;提出了使用时间信息和GUID确定被引用测试模型可用性的算法;该模型被用于具有工艺腔室的典型集成电路制造装备中,提高了测试模型的重用性,并拓展了对不同层次被测对象的测试能力。