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1.
多结级联垂直腔面发射激光器失效分析
刘畅
肖垚
刘恒
邓国亮
苗霈
王俊
《发光学报》
2022,(3):388-395
对自主研发的940 nm大功率三结垂直腔面发射激光器(VCSEL)单点器件的高温高电流老化失效后的器件进行了失效分析研究.首先,通过热阻测试确定了加速老化实验的结温,并计算了老化加速因子为104.随后,对老化过程中产生的失效器件进行失效分析.通过老化前后器件L-I-V、正反向V-I、光学及红外外观、近场光斑及透射电子显...
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