高温处理对CNx薄膜晶化的影响

利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜,然后在高温下、常压N气氛中进行热处理,利用DTA,XRD和Auger研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化.实验结果表明:在1186℃附近出现了晶化现象,高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变,在XRD图谱上出现α-C3N4衍射峰.Auger实验结果表明膜中出现富C,Si,N的区域.     

高温处理对CNx薄膜晶化的影响

利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜,然后在高温下、常压Ｎ气氛中进行热处理,利用ＤＴＡ,ＸＲＤ和Ａｕｇｅｒ研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化．实验结果表明：在１１８６℃附近出现了晶化现象,高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变,在ＸＲＤ图谱上出现α Ｃ３Ｎ４衍射峰．Ａｕｇｅｒ实验结果表明膜中出现富Ｃ,Ｓｉ,Ｎ的区域 关键词：