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本文对微光CCD象敏器的性能(如动态范围、信噪比、量子效率、热生背景电荷、转移效率等)进行了测量和研究。例如,测量转移效率用电注入法;采用单色光源入射到CCD象敏器上,测量量子效率。根据CCD象敏器的工作原理,设计了一套计算时沖频率φ_1、φ_2、φ_3、光柵脉冲φ_P及转移脉冲φ_X等的工作波形图,还对φ_P、φ_X波形的获得进行了分析,以达到能够对徽光CCD象敏器参数进行测量的目的。最后,对微光CCD象敏器性能参数的测量结果与理论值进行了对比。由本试验结果表明,基本上反决了微光CCD的性能,对研究CCD在微光、红外、紫外成象方面都起着有益的作用。  相似文献   
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