加热过程中Au—Ge—Ni薄膜的结构变化

用透射电子显微镜对不同热处理后Au-11.4wt％Ge-4.8wt％Ni蒸发薄膜进行了结构分析和形态观察。常温下此膜的结构是过饱和的金固溶体。经300℃以上较长时间(10分钟以上)加热后,膜的结构转变为金固溶体和NiGe化合物。在高压电子显微镜加热台上进行的动态观察显示:升温到约500℃时尺寸近2000埃的圆盘伏NiGe晶粒在两秒内被金固溶体吞并。余下的NiGe晶粒对500℃以上发生的金固溶体薄膜的缩聚过程有阻碍作用。 关键词：