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1.
反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望
总被引：3，自引：0，他引：3
尤政
王子旸
任大海
《光学技术》
2004,30(2):189-192
反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类,列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺;阐述了反射式MOEMS的应用领域;展望了发展前景。
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