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1篇
专业分类
物理学
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1985年
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1.
氮化铌表面氧化物的XPS研究
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王偕文
吴思诚
《物理学报》
1985,34(1):112-116
本文用X射线光电子能谱(XPS)对室温下自然氧化和射频氧化的氮化铌薄膜表面进行了成分分析。指出:与在类似条件下纯铌膜的氧化不同,NbN膜的表面氧化物中不存在NbO和NbO
2
,而是以Nb
2
O
3
作为从NbN到Nb
2
O
5-y
的过渡相。氮化铌在氧化过程中表现出一种抑制Nb
2
O,NbO等低价传导性氧化物生成的能力,这对于用氧化物作势垒的超导隧道结的研制具有实际参考价值。
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