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1篇
专业分类
物理学
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出版年
2006年
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1
1.
铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究
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王静
刘贵昌
汲大鹏
徐军
邓新禄
《物理学报》
2006,55(7):3748-3755
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,I
D
/I
G
值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势.
关键词
: 铜基体 类金刚石膜 过渡层 拉曼光谱
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