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采用倒筒直流磁控溅射系统在不同溅射气体组分下(氩氧比不同)原位沉积Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)薄膜.样品的XRD分析发现在Ar含量过高和过低的溅射气氛下沉积的薄膜存在极少量的BaCuO2第二相, 同时显示薄膜的c轴长度, (006), (007)对(005)峰强度比随着溅射气体中Ar含量的变化而发生改变.通过薄膜超导零电阻温度检测发现, YBCO薄膜的超导零电阻温度Tc随之发生改变.这说明在磁控溅射沉积YBCO薄膜过程中, 溅射气体中Ar气含量影响薄膜各元素的化学计量比, Ar含量过高和过低导致沉积YBCO薄膜晶体结构发生畸变, 恶化超导电性. 相似文献
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临界电流密度Jc是评价超导薄膜质量的重要参数之一,采用Jc测量装置可以准确、快速、无损检测Ф2~3英寸双面膜的Jc均匀性。该装置是利用高温超导薄膜的超导转变对线圈内感应电压产生的变化这一原理,测量线圈由初级和次级组成,所用信号频率为20kHz,次级信号在同样频率下由锁相放大器检测,测量过程全部由计算机控制,对于超导微波滤波器应用所要求的高质量Ф2~3英寸双面超导薄膜材料,必须具有高的Jc和低的Rs值,采用该装置测量超导薄膜的Jc均匀性,与Rs对应关系进行分析,将有助于超导薄膜的质量控制。 相似文献
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316L不锈钢基体上磁控溅射Er2O3/Er涂层的后处理研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用磁控溅射的方法在316L不锈钢表面制备了氧化铒涂层.选用金属铒作为过渡层,研究了不同热处理温度对涂层相组成、表面形貌以及涂层与基底结合情况的影响.XRD,SEM及膜基结合力分析结果表明,带有过渡层的氧化铒涂层表面致密、均匀,退火处理使氧化铒结晶性能提高,经过800℃热处理,生成了金属间化合物ErFe3提高了涂层与基底的结合强度.绝缘电阻率测试结果表明.Er2O3涂层绝缘电阻率在1×1013~1×1015Ω·cm,绝缘性能良好. 相似文献
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This paper systematically investigates the intermediate phases of YBa2Cu3O7-x (YBCO) film prepared by metalorganic deposition method using trifluoroacetates (TFA-MOD). According to x-ray diffraction and Raman analyses, the precursor film decomposed in a mixture of BaF2, Y2O3 and CuO after the pyrolysis process. Then these intermediate phases converted into tetragonal YBa2Cu3O6.5 at about 725°C. The influence of water vapour pressure on the YBa2Cu3O7-x film growth on LaAlO3 single-crystal substrates was also studied. The films prepared at low water vapour pressures (40-140 hPa) showed poor electrical performance due to the a-axis grain structure and impurity phases. However, the films prepared at 190 hPa exhibited the highest critical temperature of 90 K and the highest Jc of 3.8 MA/cm2, which was attributed to the formation of a purer YBCO phase and stronger biaxial texture. 相似文献
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临界电流密度Jc是评价超导薄膜质量的重要参数之一.采用Jc测量装置可以准确、快速、无损检测Φ2~3英寸双面膜的Jc均匀性.该装置是利用高温超导薄膜的超导转变对线圈内感应电压产生的变化这一原理,测量线圈由初级和次级组成.所用信号频率为20kHz.次级信号在同样频率下由锁相放大器检测.测量过程全部由计算机控制.对于超导微波滤波器应用所要求的高质量Φ2~3英寸双面超导薄膜材料,必须具有高的Jc和低的Rs值.采用该装置测量超导薄膜的Jc均匀性,与Rs对应关系进行分析,将有助于超导薄膜的质量控制. 相似文献
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