硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用

针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜（SEM）观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH 腐蚀液中添加I2和 KI,显著减小了削角速率,得到了呈火箭尖的硅尖阵列。各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形。通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15 nm。该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中。     

邻苯二甲酸二乙酯与牛血清白蛋白相互作用的光谱学研究

采用荧光光谱法与紫外光谱法研究了邻苯二甲酸二乙酯(DEP)与牛血清白蛋白(BSA)之间的相互作用机制。荧光猝灭结果表明,在模拟生理条件(pH=7.4)下,DEP对BSA主要为静态猝灭过程;298 K时的结合常数与结合位点数分别为2.69×10~4 L·mol~(-1)和0.93;热力学参数焓变(ΔH)与熵变(ΔS)均为正数,说明DEP与BSA之间主要为疏水作用力。依据F?rster非辐射能量转移理论求得DEP与BSA之间的结合距离为2.12nm,两者之间极有可能发生非辐射能量转移,由紫外光谱、同步荧光光谱和三维荧光光谱实验结果可知DEP诱导BSA分子构象发生变化。     

硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用

针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜（SEM）观测硅尖形貌。结果表明：在质量分数40%KOH 腐蚀液中添加I2和 KI,显著减小了削角速率,得到了呈火箭尖的硅尖阵列。各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形。通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15 nm。该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中。