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研究离子引发收集过程中的沉积和溅射特性,给出了离子沉积和溅射的数理模型,其中重点分析了结合能、捕获概率和溅射系数这几个参数的物理意义和计算公式,给出了收集板总收集量和损失量.并且用计算机模拟了收集板的收集,给出不同的离子入射能量下入射离子元素沉积厚度和不同元素靶对各入射离子溅射特性的影响.得出以下的结论:随着离子沉积在收集板表面涂层厚度的增加溅射率也增加;离子的引出电压不是越高越好;轻质量离子的总收集率比较小;入射离子沉积和溅射特性和收集板靶原子质量有关,质量轻的金属材料作收集板,有利于提高离子的收集率.
关键词:
溅射
捕获概率
溅射概率 相似文献
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《爱因斯坦的宇宙》是徐一鸿在《可畏的对称》成为畅销书之后的又一部科普著作.徐一鸿教授出生在上海,后来移民到巴西,又到美国求学.徐一鸿是理论物理研究所的永久成员,加利福尼亚大学圣巴巴拉校园物理系教授,是一位优秀的科普作家.他所著作品除本书外,还有《可畏的对称》、《吞云》和《力的统一》等书.本书的译者张礼 相似文献
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高速旋转构件应力应变超声遥测 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍的是测量高速旋转构件应变的一种新方法超声波遥测法。文中叙述了该方法的工作原理,并提供了应用实例 相似文献
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20 0 3年 11月 1日江苏省大学物理教学及教材研讨会在南京凤凰台宾馆召开 .本次会议由江苏省物理协会与清华大学出版社共同举办 ,来自 5 1所高校的 130位代表参加了会议 ,各位代表皆是江苏省物理教学界的专家 .会上江苏省物理协会副理事长李相银教授致开幕辞 ,江苏省教育厅袁靖宇副厅长介绍了物理教学新的评估方向 ,并强调了物理教学的重要性、战略定位及基础课程的要求 .清华大学出版社社长助理石磊老师介绍了清华大学出版社的发展情况及清华理工出版事业部的出版理念和教材研发模式 .教材研发模式主要表现在以下几个方面 : 从教学发展方向… 相似文献
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