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介绍了用离子交换法制得的平面微透镜的表面凸起现象,建立了分析这一现象的理论模型并给出了计算凸起程度的公式。平面微透镜的表面凸起有利于提高数值孔径和缩短交换时间,我们将它引入了平面微透镜阵列的设计和制作中并获得了良好的结果。 相似文献
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小尺寸物体三维面形高精度测量 总被引:3,自引:1,他引:2
采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量.研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪,测量范围(30×30)mm2,精度20μm,初步用于人类牙齿表面三维测量.最后提出了存在的问题和改进方向. 相似文献
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高密度微小透镜面列阵研制 总被引:1,自引:0,他引:1
用光刻、离子交换法在玻璃基底上制作了直径分别为40μm,20μm、10μm,总透镜数18万以上的高密度微小透镜面列阵,对其主要参数进行了测量。给出的显微成像照片说明,它们都具有良好的成像质量。最后,在理论分析和实验研究的基础上,给出了透镜微小化极限的判据。 相似文献
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