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实现了一种采用聚苯乙烯纳米球自组装技术和微机械制造技术加工的场发射阴极用亚微米栅极微孔阵列。设计了一套完整的工艺实验方案,首先采用微球自组装技术获得了亚微米级金属网孔掩膜,然后通过反应离子刻蚀技术获得了亚微米栅极孔阵列,从而实现了集成度高、分布均匀的周期性亚微米孔洞阵列的制备,微孔集成度达到108cm-2。实验研究了氧气刻蚀聚苯乙烯微球的规律。采用金属掩膜,四氟化碳干法刻蚀二氧化硅,获得了深度为500 nm的微孔。实验结果证明该工艺方案是一种获得大面积、均匀分布、集成度高的场发射冷阴极栅孔阵列的有效方法。 相似文献
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优化设计了一种220 GHz的折叠波导慢波结构的尺寸,对其冷测特性如色散、耦合阻抗和衰减进行了分析。理论分析和软件仿真结果表明设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系,较高的耦合阻抗和较低的电路衰减。互作用模拟表明,在电子注电压为20 kV,电流为10 mA时,27 mm（50个周期）的折叠波导慢波结构在220 GHz具有14.5 dB的增益,3 dB带宽为16.3 GHz（211.9～228.2 GHz）。 相似文献
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施志贵 《工程物理研究院科技年报》2003,(1):288-289
基于串联光电池阵列和半导体桥(SCB)点火器的组合运用设计了光电混合点火实验装置(图1)：光电池阵列(PV-array)将二极管激光器(LD)发射的准连续波激光转换成电能并存储在电容器(6．8μF／125V)中，示波器通道3(CH3)用于监测电容器充电，当充电电压达到最大值(大于50V）时，闭合触点开关K，触发MOS功率场效应管(IRF540)闭合，电容器快速放电，驱动SCB点火。示波器通道1(CH1)用于采样放电回路电流， 相似文献
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