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脉冲-射频辉光放电发射光谱(GDOES)深度剖析是一种基于辉光放电原理的原子光谱技术,广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分随深度分布的表征.该技术具有真空度要求低,灵敏度高,溅射速率快等优点.同时脉冲-射频电源所采用的瞬间高功率模式可使得氩离子周期性轰击样品表面,避免了由于热量积累所导致的熔融或碳化,因此脉冲-射频... 相似文献
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