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研磨作为4H碳化硅(4H-SiC)晶片加工的重要工序之一,对4H-SiC衬底晶圆的质量具有重要影响。本文研究了金刚石磨料形貌和分散介质对4H-SiC晶片研磨过程中材料去除速率和面型参数的影响,基于研磨过程中金刚石磨料与4H-SiC晶片表面的接触情况,推导出简易的晶片材料去除速率模型。研究结果表明,磨料形貌显著影响4H-SiC晶片的材料去除速率,材料去除速率越高,晶片的总厚度变化(TTV)越小。由于4H-SiC中C面和Si面的各向异性,4H-SiC晶片研磨过程中C面的材料去除速率高于Si面。在分散介质的影响方面:水基体系研磨液的Zeta电位绝对值较高,磨料分散均匀,水的高导热系数有利于控制研磨过程中的盘面温度;乙二醇体系研磨液的Zeta电位绝对值小,磨料易发生团聚,增大研磨过程的磨料切入深度,晶片的材料去除速率提高,晶片最大划痕深度随之增大。 相似文献
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惯导设备是火炮等武器系统的核心设备,在正常工作时,惯导设备与火炮身管轴线保持一致,为火炮提供空间指向。因而,对惯导设备进行精度测试和安装标校可以通过对火炮身管轴线空间指向的测量来实现。利用光电跟踪和北斗双天线定向,提出了一种快速动态测定火炮身管轴线空间指向的方法,将相位激光测距机和高分辨率相机安装在高精度双轴伺服机构上,将北斗双天线分别安装在目标靶板和伺服机构上,同时获取初始空间角、空间距离、空间转角等信息,通过实时空间解算获取火炮身管轴线的空间指向。利用蒙特卡洛方法对基于光电跟踪的火炮轴线空间角测量系统误差进行了仿真分析。通过实验验证,火炮轴线空间角测量误差小于0.25 mil,与蒙特卡洛分析结果相当。测量效率较传统双站经纬仪方法提高3倍以上。实验结果表明,可以利用所提出方法替代双站经纬仪方法对惯导设备进行精度测试与安装标校,以提高工作效率。 相似文献
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旋翼的流场呈现很强的非定常现象.目前,对旋翼定常流场的计算已经基本成熟,非定常流场的计算仍在探索之中。本文基于有限体积法的思想,利用较成熟的商用软件NUMECA/IGG生成计算所需的网格。对N-S方程进行离散,选用Baldwin-Lomax湍流模型,Dual-Time时间推进格式模拟了旋翼的非定常流场。计算的结果与文献给出的实验结果符合得较好。 相似文献
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Transition metal dichalcogenides, featuring layered structures, have aroused enormous interest as a platform for novel physical phenomena and a wide range of potential applications. Among them, special interest has been placed upon WTe_2 and MoTe_2, which exhibit non-trivial topology both in single layer and bulk as well as pressure induced or enhanced superconductivity. We study another distorted IT material NbTe_2 through systematic electrical transport measurements. Intrinsic superconductivity with onset transition temperature(T_c~(onset)) up to 0.72 K is detected where the upper critical field(H_c) shows unconventional quasi-linear behavior,indicating spin-orbit coupling induced p-wave paring. Furthermore, a general model is proposed to fit the angledependent magnetoresistance, which reveals the Fermi surface anisotropy of NbTe_2. Finally, non-saturating linear magnetoresistance up to 50 T is observed and attributed to the quantum limit transport. 相似文献
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角锥棱镜腔激光二极管抽运被动调Q激光器 总被引:4,自引:0,他引:4
为了提高传导冷却条件下激光二极管(LD)侧向抽运被动调Q激光器的光束质量和输出稳定性,采用了两组半圆柱面激光二极管阵列侧向交错抽运两根串接的激光棒,实现了均匀抽运和散热。通过实验分析了横模结构对被动调Q稳定性的影响,设计了角锥棱镜-高斯输出镜非稳腔,在显著提高器件光束质量的同时,明显改善了被动调Q的稳定性,并保证了谐振腔的机械稳定性。在此基础上研制了一台重复频率20 Hz、单脉冲能量64 mJ、脉冲宽度7 ns、稳定性优于±5%、光束发散角0.6 mrad、光-光效率9.1%,且光轴指向稳定的工程实用器件。 相似文献
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纤维素磁性微球在病原微生物检测中的应用研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用反向悬浮包埋技术和高速匀浆法制备了不同粒径的纤维素磁性微球,扫描电镜和铁离子分析结果表明,最佳粒径为5.82μm。后采用自行构建并表达的融合蛋白CBD-ProA和沙门氏菌多价抗体对最佳粒径的纤维素磁性微球进行活化,获得免疫磁性微球,其抗体偶联量为186.8mg/mL。最后采用致敏的免疫磁性微球分别对污染沙门氏菌的饮用水、牛奶和花生酱等样品进行免疫磁性捕获及分子鉴定,其检测限均可达10cfu/100mL。本研究开发的免疫磁性捕获技术,具有微球活化速度快、工艺简单、使用便捷等优势,同时,建立的免疫磁性捕获-PCR的方法与国标法相比,检测时间缩短48h,在食品安全、环境检测等方面具有实用价值。 相似文献
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葡萄样品用微波消解处理后,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中40种元素的含量。使用合适的同位素、内标和干扰校正方程消除了被测元素的干扰。方法的检出限(3s)在0.003 6~0.53μg·L-1之间。方法用于苹果标准物质(GBW 10019)的分析,测定值与认定值相符,相对标准偏差(n=6)在1.6%~8.5%之间。 相似文献
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