硼离子注入多晶铁薄膜的非晶化作用的研究

不同剂量的硼离子注入的多晶铁薄膜的磁导率随注入剂量增加呈现非单调上升,其⁵⁷Fe转换电子穆斯堡尔谱显示了非晶态合金的生成,结果支持临界缺陷密度非晶化模型。 关键词：     

硼离子注入多晶铁薄膜产生非晶态合金层的过程的研究

对多晶纯铁薄膜在硼离子注入下产生非晶态合金层的过程作了研究,观察到膜的磁矫顽场随注入剂量增大而呈现非单调降低等有趣现象,并讨论了其可能的机理。 关键词：