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张伯华  高福斌  金锋 《光子学报》1990,19(2):199-204
用钛内扩散技术和常规光刻手段,研制出1.5μmLiNbO3电光波导强度调制器。它由单模波导非对称Mach-Zehnder干涉仪和三电极共平面波导组成。干涉仪的两个臂长相差波导波长的四分之一,使器件在最佳线性点工作,无需外加电偏压。集总调制和行波调制的理论带宽分别为1GHz和7.8GHz。对于集总器件,测量了调制特性,半波电压为9.5V,调制带宽为0.7GHz。  相似文献   
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