一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究

从理论和实验两方面入手,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺,分析了微透镜阵列的面形结构,得到了联系微透镜阵列矢高与制作工艺参量的经验公式.并且将四片微透镜阵列耦合,形成一个深紫外光刻的1:1成象的多孔径微小光刻系统.从几何光学理论出发,分析了这个光刻系统综合成象的特点,讨论了这种光刻系统的光学性能,并给出了实验测量方法.     

材料沿厚度方向的非线性对复合材料层板分层的影响

基于修正的Ｈａｈｎ－Ｔｓａｉ非线性本构关系,用准三维有限单元分析了由层间应力引起的材料沿厚度方向的非线性对复合材料层板分层后屈及能量释放率的影响,结果表明材料非线性对能量释放率的影响与后屈曲形态密切相关,其中对Ⅱ型分层能量释放率的影响较大,而分层尖端应力场降低,局部变形增大。     

非接触式光刻中的微透镜阵列系统

本文介绍一种供非接触式光刻使用的由三片微透镜陈阵叠合成1：1成像多孔径微小光学光刻曝光系统。针对大面积光刻，可以获得良好的分辨率和较大的焦深。本文还介绍了这种微透镜阵列的制作方法。     

层间短纤维的桥联和增韧分析

根据短纤维在层间杂乱分布和接近裂纹表面的特点，考虑基体剥落和纤维拉出耦合，本文建立了一个层间短纤维桥联模型，分析短纤维的层间增韧机理和主要影响因素。计算结果表明，纤维增强树脂层板在层间加入少量的Kevlar短纤维时，裂纹张开位移导致短纤维从基体中剥离和拉出，在纤维相互干扰下，拉出过程中产生大的能量耗散，从而明显地提高层间断裂韧性。纤维界面性质对△G1c有重要影响，纤维杂乱分布引起的相互干扰及纤维初始弯曲，使层间断裂韧性显著增加。比较表明，△G1c的理论预测与实验结果相符合。