F离子弹性反冲法分析固体中H的深度分布

本文报道7—8MeVl⁴⁺离子弹性反冲法(ERD)分析固体中H的深度分布。实验和理论分析表明,近表面处的深度分辨率为200—300?。探讨了散射几何条件和入射能量等的最佳化问题。比较了同一样品用F离子ERD法与6.4MeV¹H(¹⁹F,αγ)¹⁶O核反应法(NRA)的测试结果。表明F离子ERD法是快速(5—10min)、低辐照(5—10μC)、深度分辨和灵敏度较好的分析固体中H的深度分布的一种方法。 关键词：