光楔加工检测及测量误差分析

提出了用于光楔加工中楔角检测的一种新型装置及测角系统。结合锗晶体元件的光学特性 ,在综合分析各种测角装置的结构特点后 ,形成了此装置及系统。实际使用中该装置测角性能良好。对测量中可能产生的误差进行了较详细的分析。经过对标准楔块的检测 ,可满足实际使用要求。该装置的特点 :采用多个微动机构 ,在微机控制的细分驱动方式下 ,利用搜索逼近的方法完成对楔角的测量。该装置除用于红外光楔的锗晶体测量之外 ,也可用作其它光学玻璃的角度测量和分度使用