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紫外-真空紫外成像光谱仪在我国空间探测中的应用越来越广,在其研制过程中需对其进行校准,但目前国内尚无针对紫外-真空紫外成像光谱仪的计量标准,无法保证测量结果的准确可靠。该文设计了一种紫外-真空紫外成像光谱仪校准装置,实现对紫外-真空紫外成像光谱仪的光谱范围、波长、光谱响应度、空间角分辨率、均匀性等参数的校准。经测试验证,波长测量不确定度为0.080 nm（k=2）,光谱响应度测量不确定度为6.8%（k=2）,空间角分辨率测量不确定度为0.022 mrad（k=2）,均匀性测量不确定度为4.2%（k=2）。 相似文献
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