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物理学
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2005年
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1
1.
中波红外8通道微型集成滤光片的研制
总被引：1，自引：0，他引：1
林炳
刘定权
孔令方
张凤山
《光子学报》
2005,34(9):1316-1319
利用组合刻蚀法布里珀罗（F－P）干涉滤光片的谐振腔间隔层的方法,制备了集成在一个基片上的8通道中波红外（λ
0
=2.8 μm）窄带滤光片,通道线宽为0.7 mm,光谱通道定位精度优于1%,各通道相对半峰宽为1%,此法有效提高了成品率,并可满足实现通道数更多,集成度更高的滤光器件发展的需求,
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