硅基光学相控阵性能评估方法

针对典型光学相控阵,建立了一套硅基光学相控阵芯片性能评估方法,为光学相控阵优化设计提供可靠的数据支撑.通过设计傅里叶成像系统对光学相控阵进行动态成像,能够实现对近场远场成像的同步观察.在该基础上设计校准方案对相控阵初始相位进行校准优化,同时对扫描速度、角度和精度等特性参数进行了从理论推导和仿真到测试系统结构设计的整体分...