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用电子束蒸镀工艺制备了自旋阀型［NiFe/Cu/Co/Cu］N多层膜．研究了工艺过程及磁层、非磁层厚度和矫顽力对磁电阻的影响．还研究了磁电阻的稳定性和降低中心磁场等问题．用较优化的方法，制备了中心磁场为（10—20）（103/4π）A/m，优值大于0.2%（（103/4π）A/m）-1的多层膜．实验表明，磁电阻随磁场的变化在中心区内是可逆的．经200℃退火15min，中心磁场略有减小，磁电阻稍有增加．一些样品经一年多老
关键词： 相似文献
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