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1篇
专业分类
物理学
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出版年
1990年
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1
1.
磁场-微波等离子体与大面积金刚石薄膜
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宋汝安
程先安
周忠毅
《物理学报》
1990,39(10):1635-1639
在磁场辅助下电子回旋共振(ECR)效应在大的空间范围形成高密度的等离子体,为大面积金刚石薄膜的淀积提供有利条件,以CH
4
-H
2
为原料气体,在Si基片上,在比其他制备方法更低的压强(3Torr附近)下已制备出直径约为5cm的金刚石薄膜,从空间等离子体范围来看且有可能达更大的面积,在分析等离子体发射光谱的基础上,对0.5到50Torr压强的金刚石气相生长条件作了讨论。
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