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1
1.
椭圆偏振法数据处理软件设计
总被引:1,自引:0,他引:1
黄佐华
吴雪忠
何振江
杨冠玲
《大学物理》
2004,23(9):41-45
以C^ Builder 6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件.它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,△)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nn、和0001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.
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