亚微米外部电光检测技术

将固浸透镜技术与电光检测技术相结合，建立了具有亚微米空间分辨率的外部电光检测系统，通过使用GaAs半球作外部电光探头，用数值孔径为0.3的显微物镜对波长为1.3μm的探测光束进行聚焦，得到了半峰全宽直径为0.7μm的聚焦光斑，成功测量了微带线上10kHz的正弦波信号，验证了系统的线性响应特性，并得到了6mV/√Hz的电压灵敏度。