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介绍了双靶磁探溅射镀膜机的结构、工作原理、主要功能同时还简述了非反应与反应溅射相结合的工艺技术,制备了渐米Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层以及TiO2/Al反光保护膜层。 相似文献
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