稳定核素的应用

引言同位素和核素本世纪初,索迪和汤姆逊发现了元素的同位素．同位素是指某元素的几种不同的原子形式,其原子序数相同而原子量（或质量数）不同．其后的四十年中,把不同原子序数的各种原子形式泛称为同位素,这是不确切的,混淆了同位素的定义．五十年代创造了一个新词“核素”（Ｎｕｃｌｉｄｅ）泛指不同原子序数,原子量（或质量数）和能态的各类原子．“核素”既可以狭义地指某一种原子,如６锂,也可以广义地泛指几种以?...     

微离子束技术及其在微细加工中的应用

二十多年前,著名的美国物理学家费曼说过：如果微细加工技术能加工线度８ｎｍ的图形,就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上．今天,他的预言正在变成现实,微离子束的束斑直径已达到１０ｎｍ．由于计算机和空间技术的需要,微电子学迅速发展,集成电路的集成度越来越高,目前已制成５１２Ｋ的ＲＯＭ．要求微细加工的线度在亚微米量级（图１）．早在１９５４年,Ｗ,Ｓｈｏｃｋｌｅｙ在提出离子掺杂工艺时就设想用?...