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MOCVD生长中载气H2对N掺杂ZnO性质的影响 总被引:5,自引:5,他引:0
采用MOCVD方法在石英衬底上生长ZnO。实验使用二乙基锌(DEZn)为锌源,N2O作为氧和氮源,H2作为载气。采用PL和Raman光谱方法对ZnO样品进行表征,结果表明H2的加入大幅度减少薄膜中碳的掺入,明显改善了薄膜的光学质量。采用N2O离化技术,可以进一步提高其带边峰的强度,抑制带内发光。XRD测量表明,生长的ZnO薄膜具有c轴择优取向。目前生长高质量N掺杂的p型ZnO薄膜是很困难的,而H2作为载气的加入明显改善了ZnO薄膜的光学性质,在生长过程中加入H2将为获得高质量N掺杂的p型ZnO薄膜提供一种途径。 相似文献
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纳米ZnO生长及性质分析 总被引:2,自引:1,他引:1
利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术,在表面含有ZnO颗粒作为催化剂的Si(111)衬底上制备了ZnO纳米柱阵列。采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光(PL)谱分析了样品的晶体结构质量、表面性质和光学性质。结果表明,生长出来的纳米ZnO具有较好的c轴择优取向性。发现氧分压对ZnO纳米柱的生长有重要影响:当氧分压较低时,生长基于VLS机制;当氧分压较高时,生长基于VS机制;通过对N2O流量的控制可实现对ZnO纳米材料的可控生长。 相似文献
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面向物联网的基于上下文和权能的访问控制架构 总被引:1,自引:0,他引:1
针对物联网(Internet of Things,IoT)的安全和隐私问题,以及传统的访问控制方法不适应于IoT环境的现状,提出了一种分布式的基于上下文和权能的访问控制架构.该架构的授权决策过程由嵌入到设备中的授权决策模块PDP来实现,以达到分布式的授权目标;特别是权能令牌的特殊构造,不仅可方便实现基于设备上下文的访问控制,而且利用椭圆曲线密码体制来实现端到端的认证、完整性和不可抵赖性;消息传输机制采用更适合于物联网的受限应用协议CoAP(Constrained Application Protocol).实验结果表明,该架构是可行的. 相似文献
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N 掺杂ZnO薄膜的接触特性 总被引:1,自引:1,他引:0
氧化锌(ZnO)是一种直接带隙半导体材料,室温下带隙为3.37eV,激子束缚能为60meV。ZnO因其优越的光电特性在高亮度蓝紫光发光器件、紫外探测器件和短波长激子型激光器等方面具有广阔的应用前景。而要实现大功率的光电器件,稳定可靠的欧姆接触是必需的。研究了氮气氛条件下,不同温度快速退火对氮掺杂ZnO样品的电学性质以及Ni/Au与其接触特性的影响。原生样品表现为弱的肖特基接触,适当温度退火后,由肖特基转成了欧姆接触,650℃退火后得到最小比接触电阻率8×10-4Ω·cm2。霍尔测量表明550℃快速退火后,样品的导电类型由p型转变成了n型。采用AES和GXRD分别研究了不同退火温度下Au、Ni、Zn、O的深度分布变化及退火后所生成的合金相。实验结果表明,退火所导致的薄膜电学性质的变化以及界面态和表面态的增加是接触特性变化的原因。 相似文献
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