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1篇
专业分类
物理学
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出版年
1988年
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1
1.
类金刚石a-C:H膜的热释氢和红外吸收研究
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彭少麒
刘国洪
《物理学报》
1988,37(7):1209-1212
本文利用热释氢和红外吸收研究了H在非晶态碳(a-C:H)膜中的含量和组态。实验结果表明,随着样品制备时衬底温度的增大:1)H在a-C:H膜中的组态从两相结构过渡为单相结构;2)H在a-C:H膜中的含量单调减少;3)a-C:H膜中sP
3
/sP
2
键合比例单调增大。
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