工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英）

利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:刻蚀工艺误差越大,微加速度计温度漂移量越大。折叠梁设计宽度为4.5 m和6.5 m时,最大温度漂移量分别为2.42 mg/℃和1.71 mg/℃,因此通过适当地增大设计尺寸,可以有效地减小微加速度计的温度漂移量。