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MSM光探测器瞬态特性的二维分析及优化设计   总被引：1，自引：1，他引：0  
应用有限差分方法对金属-半导体-金属光探测器进行二维分析,全部数值模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的.结合模拟结果对金属-半导体-金属光探测器的瞬态响应进行了分析,以特性分析结果为基础针对探测器的响应速度和响应率等性能指标进行了二维结构上的优化设计.  相似文献   
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