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给出了3ω法测试系统中描述薄膜表面加热/测温膜中温度波动的级数形式解,并将复数温度波动的实部和虚部分开表示.利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响.并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正,建立了相应的3ω测试系统,首先测定了厚度为500 nm SiO2薄膜的导热系数,验证了实验系统的合理性.加大了测试频率,利用级数模型在高频段直接得到SiO2薄膜的导热系数,结合低频段的数据同时确定了Si基体的导热系数.利用级数解分析测试了激光晶体Nd:YAG〈111〉面上多层ZrO2/SiO2增透膜的导热系数,测试的ZrO2薄膜的导热系数比体材料小.进行了不确定度分析.结果表明,提出的分析方法可以有效研究微器件表面薄膜结构的导热性能.
关键词:
ω法')" href="#">3ω法
微/纳米薄膜
导热系数
微尺度加热膜 相似文献
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非线性特征值问题的正解 总被引:6,自引:0,他引:6
本文着重考察非线性特征值问题u"+λg(t)f(u)=0,0<t<1,u(0)=u(1)=0,在没有任何单调性条件下,运用不动点指数理论,得到了上述问题的正解,推广、改进了以往的工作. 相似文献
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正指数超线性Emden-Fowler方程奇异边值问题的正解 总被引:12,自引:0,他引:12
本文利用函数逼近和不动点理论给出了正指数超线性Emden-Fowler方程奇异边值问题有C1[0,1]正解的充分必要条件. 相似文献
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一类奇异二阶边值问题正解存在的充分必要条件 总被引:13,自引:0,他引:13
本文研究了一类奇异二阶边值问题u′′+a(t)f(u)+b(t)g(u)=0,u(0)-u′(0)=0,u(1)+u′(1)=0的C 相似文献
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We investigate the bi-harmonic problem ■ where Δ2 u=Δ(Δu),Δpu=div(|▽u|p-2▽u) with p> 2.Ω is a bounded smooth domain in RN,N≥1.By using a special function space with the constraint ∫Ω udx=0,under suitable assumptions on f and g(x,u),we show the existence and multiplicity of sign-changing solutions to the above problem via the Mountain pass theorem and the Fountain theorem.Recent results from the literature are extended. 相似文献
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莫帅赵月云张海燕毛安民 《应用泛函分析学报》2020,(4):281-287
本文研究下述Schr?dinger-Poisson系统{Δφ=μ^(2)/-Δu+φu=K(x)|u|^(p-2)u,x∈R^(2),x∈R^(2),其中K∈C(R,(0,∞))以及p∈(3,∞).利用一个新的变分框架和一些新的技巧,证明了上述系统有在轴向对称空间中能量值最小的基态解. 相似文献
9.
赵月云莫帅张海燕毛安民 《应用泛函分析学报》2020,(3):150-155
本文研究一类Emden-Fowler方程奇异边值问题{-ü+u=μ(x)|u|^q-2u+λ|u|^p-2u,x∈(0,1),u(0)=u(1)=0,其中μ(x)可以在无穷多个点存在奇异性.在满足经典的Ambrosetti-Rabinowitz条件下,本文利用喷泉定理证明了上述方程存在无穷多高能量解,所得结论是对已有相关结果的推广. 相似文献
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不作周期性和对称性的假设,也没有Ambrosetti-Rabinowitz增长控制条件,我们得到了一类超线性薛定谔方程在全空间中无穷多解的存在性结果.同时,得到了一类超线性薛定谔-麦克斯韦方程无穷多解的存在性结果. 相似文献
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