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采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明：该产物是无定形的球形纳米粉体,粒径为20～100nm．粉体粒径随分解温度敏感,温度升高粒径减小,但高于700℃时急剧增加．傅立叶红外分析表明,粉体存在Si～H键,且H含量随分解温度升高而降低．进一步研究表明,该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅． 相似文献
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